Увеличение от  15х до 300 000х. Максимальное разрешение 

4 нм при 30 кВ для SE детектора, 6 нм при 30 кВ для BSE детектора. Источник электронов - вольфрамовый эмиттер. Время начала работы в оптическом режиме - 30с, Время начала работы в режиме ЭСМ - 60с.